SMP01型传感器微加工平台是自主研发的传感器微加工集成平台，包括激光刻蚀、激光划片、紫外光刻/激光直写、静电微喷成膜等功能，可低成本的实现气体传感器微制造与小批量生产。基于该平台，可研发多种类微型传感器，包括温湿度传感器，催化燃烧型、固体电解质型、阻抗型、热导、光学型等类型气体传感器及其混合阵列，也可以基于静电微喷、激光直写等技术实现器件上原位的材料微纳结构可控成型。

主要特性与参数

1. 光刻线宽小于5um，线宽误差小于1um

2. 激光刻蚀线宽小于20um，激光定位分辨率小于1um

3. 可微区静电微喷纳米结构膜

4. 可激光直写纳米结构膜