W16型微热板气体传感模组是一套基于MEMS微热板16元件阵列的模块化设备。其由三部分组成：16元件微热板器件及基板、调理电路板、供电通讯模块。16元件微热板器件采用MEMS工艺，通过光刻溅射的方式在陶瓷基板上沉积加热器、测温电阻、插齿，16个通道可单独加热、控温。调理电路板可以高速测量16路电阻信号，电阻测量范围100Ω-1GΩ，误差小于5%。供电通讯模块可以通过USB或者WIFI等方式连接PC机，进行数据获取、存储与处理。
性能参数
模组尺寸
约52mm×42mm×12mm
器件尺寸
10mm×10mm×2mm
传感器类型
金属氧化物半导体
插齿间距
4/8um可选
传感器数量
16个
加热温度范围
室温-400℃
加热功耗
约50 mW/元件 (300℃)
加热模式
恒温或程序变温
可选配
内置环境温湿度传感器或者LED光激发
电阻测量范围
100Ω-1GΩ（自动匹配）
供电电源
12V，4.0A
工作温度范围
-10℃- +40℃
工作湿度范围
0-95%RH
技术支持：张先生
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