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GUV-1000光固化微纳结构气敏膜成膜仪

传感器微制造设备

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<a name="OLE_LINK45"></a><a style="width: 15px; height: 16px;" name="OLE_LINK44"></a>  GUV-1000光固化微纳结构气敏膜成膜仪采用紫外激光直写光固化的方式成膜，可以在保留气敏材料微纳结构的条件下高精度控制成膜区域，适用于批量成膜，以及阵列成膜。设备主要由纳秒紫外激光器、同轴成像光路、CCD摄像机、高精度试样台和光固化PC端软件等部分构成，如图1所示。纳秒紫外激光器产生激光并发射激光束，通过同轴成像光路将激光束以近乎垂直的角度照射到被曝光材料表面，CCD摄像机可以用来观察基片表面确定激光直写的位置，通过高精度试样台的转动和平移可以实现高精度的定位。可通过PC端软件进行光固化的工艺参数调控，如图3所示为光固化软件操作界面，该软件可实时读取激光直写图形文件和移动升降试样台，快速调控激光扫描速度、激光扫描次数、开光延时和关光延时等工艺参数，同时连接摄像头可实时观察基片表面的状况，进行激光直写对准。如图4为光固化微纳结构气敏膜成膜仪直写的100个SnO2光固化气敏浆料膜的形状，直径大小均在120μm左右，图5为氧化钨纳米片气敏膜光固化后微纳结构依然保存。 性能参数<table cellspacing="0" cellpadding="0"><tbody><tr style=";height:1px" class="firstRow"><td width="149" style="border-width: 2px 1px 1px; border-style: double solid solid; border-color: windowtext; border-image: initial; padding: 0px 7px;" height="1">设备尺寸</td><td width="405" style="border-top: 2px double windowtext; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">不大于1400mm*750mm*1100mm</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">供电电源</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">220V交流 3000W</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">激光波长</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">355nm</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">位移台控制分辨率</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">1um</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">激光定位精度</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">5um</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">工作幅面</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">100*100 mm</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">成膜厚度</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">1-5000 um</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="149" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">成膜尺寸误差</td><td width="405" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">±5um</td></tr></tbody></table>
HTGM01型气敏膜并行合成仪

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<a name="OLE_LINK40"></a><a name="OLE_LINK39"></a>  HTGM01型气敏膜并行合成仪 [发明专利申请号201610899309.8]，采用微滴预混转移技术，可高效实现气敏材料的掺杂、复合、表面改性，同步并行合成200种不同组分气敏膜，具体流程如下：通过蠕动泵将六个原料腔中的液体/悬浊液原料，输送到预混针头；并通过三维滑台控制预混针头插入到阵列预混腔中，控制各通道原料注入比例，实现多组分预混；对阵列预混腔超声混合均匀后，经转印针头逐个定点、定量转印到电极基片上；并对基片干燥烧结成膜。该气敏膜并行合成仪的主要性能指标如下：1. 同步并行合成气敏膜最大数量：200个；2. 原料腔数量：6个；3. 预混体积1.5 mL，精度0.002 mL；4. 转印成膜面积：0.4-1 mm 直径可调；膜厚：1-3 um（可调）； 5. 成膜时间不大于5分钟/样。
P01型桌面式气敏膜微喷仪

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<a name="OLE_LINK36"></a><a name="OLE_LINK35"></a>  P01型桌面式气敏膜微喷仪，采用静电微喷原理，可将分散均匀的浆料或者溶液，按设定图形或位置微喷成膜，并可保持纳米颗粒的形态，是MEMS气体传感器成膜的最佳选择。P01型桌面式气敏膜微喷仪，配备了高速视觉系统、高精度多自由度运动平台、高精度位移和高度传感器，适用于1-10000cPs粘度的有机/无机浆料微喷，支持CAD图形格式输入，高精度制备复杂微纳成膜图案。在保证性能的提前下，充分简化结构，缩减成本，提高性价比，是当前市场上价格最低、性价比最高的微喷仪之一。该设备不仅可用于气敏膜的高一致成膜，还可用于光电、能源、传感、生物等领域。 性能参数<table cellspacing="0" cellpadding="0"><tbody><tr style=";height:1px" class="firstRow"><td width="153" style="border-width: 2px 1px 1px; border-style: double solid solid; border-color: windowtext; border-image: initial; padding: 0px 7px;" height="1">设备尺寸</td><td width="416" style="border-top: 2px double windowtext; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">约630 mm×600 mm×630 mm</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">试样台面尺寸</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">150 mm×150 mm</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">供墨系统</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">-100-100 kPa可控气源</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">高压电源</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">2000 kV可调</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">打印速度</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">100 mm/s</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">定位精度</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">±10um</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">试验台水平度</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">10um（带水平度调节）</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">传感器</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">XY位移传感器+ Z高度传感器</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">视觉系统</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">观测CCD +定位CCD</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">可选配</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">内置环境温湿度传感器或者LED光激发</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">图形格式</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">CAD</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">喷嘴直径</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">20-100um可选</td></tr><tr style=";height:1px"><td width="153" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="1">工艺指标</td><td width="416" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="1">最小线宽<20um</td></tr></tbody></table>
SMP01型传感器微加工平台

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<a name="OLE_LINK30"></a><a name="OLE_LINK29"></a>  SMP01型传感器微加工平台是自主研发的传感器微加工集成平台，包括激光刻蚀、激光划片、紫外光刻/激光直写、静电微喷成膜等功能，可低成本的实现气体传感器微制造与小批量生产。基于该平台，可研发多种类微型传感器，包括温湿度传感器，催化燃烧型、固体电解质型、阻抗型、热导、光学型等类型气体传感器及其混合阵列，也可以基于静电微喷、激光直写等技术实现器件上原位的材料微纳结构可控成型。 主要特性与参数1. 光刻线宽小于5um，线宽误差小于1um2. 激光刻蚀线宽小于20um，激光定位分辨率小于1um3. 可微区静电微喷纳米结构膜4. 可激光直写纳米结构膜